• 产品名称:氦质谱检漏仪使用说明 (1)多赢彩票(DOC)
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  • 发布时间: 2019-10-22
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  氦质谱检漏仪运用解释 氦质谱检漏仪运用解释 一、 检漏仪及其真空体系的构成 VARIAN959-50 检漏仪检漏漏率限度从 1X10-3 (毫升 / 秒)到 2X10-10(毫升/秒) (相当于 30 年漏 1 毫升) ,它紧要由质谱管、高真 空泵、 热偶规管、 一系列按钮操纵的阀、 测试接口、 真空和漏率指示, 以及电途板等部门构成,其真空体系布局为(分子泵型) ,如图 1: 图1 检漏仪真空体系布局图(分子泵型) 检漏仪开启后,V1、V2、V6 阀掀开,测试口与质谱管仍旧真空 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第1页 氦质谱检漏仪运用解释 邻接。假若按下“VENT”键,放气阀 V3 掀开,V1 闭上,测试口处 于大气形态,同时 V2 掀开,使分子泵、质谱管和呆板泵连通。分子 泵运转时,质谱管线TORR 以上,本事给离子源灯 丝加热。 二、 检漏仪作事道理 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第2页 氦质谱检漏仪运用解释 图2 检漏仪作事道理图 假若被检体系有轻细漏孔,正在小孔界限喷氦气时,总有部门氦原 子会通过漏孔进入检漏仪接口,通过其真空体系扩散到质谱管。质谱 管是检漏仪重点构成部门,参睹上图 2,正在电场和磁场影响下,灯丝 发射电子负气体电离,电离后带正电的离子通过聚焦和孔聚合后,进 入理会磁场(磁场强度为 2340 高斯) ,因为受洛仑磁力影响,离子 会发作偏转,其它外界前提沟通的环境下,偏转半径由带电粒子电量 与质地之比即荷质比确定,荷质比小的离子偏转半径小,荷质比大的 粒子偏转半径大,惟有氦离子本事通过克制小孔来到征求极,信号经 放大后,检漏仪报警。 三、操纵和指示器效用解释: 序号 1 操纵、指示器 效用 Vent Start Hold 和 Test 检漏仪开闭时,操纵各个阀的 按钮 手脚递次 Pressure(压力指示) Leak rate(漏率指示) 显示测试口压力, 单元 millitorr 显示漏率, 单元 std cc/sec(尺度 立方厘米每秒),跨越或低于测 量量程,分离由上下端两个发 光 二 极 管 ( LED ) “over” 和 “under” 显 示 。 随 “range” 和 “Hi-Lo Sensitivity”档位拣选不 同, ×10-指数窗口将显示 4、 5、 6、7、8 或 9 作指数 2 3 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第3页 氦质谱检漏仪运用解释 4 Range(量程拣选) 量程拣选共四个档位。旋钮上 端圆孤指示从左到右,由最小 漏率(最高灵活度)到最大漏 率(最低灵活度) 电位器医治零点 质谱管灯丝发射后绿色 LED 显 示灯亮,体现检漏仪处于测试 形态 5 6 Zero(调零) FIL(灯丝指示) 7 Hivac ok (真空度 ok) 体系真空度抵达央求后,绿色 LED 指示灯亮 Main power(主电源) Focus(聚焦) ION(离子源操纵) 检漏仪总电源操纵 医治聚焦电位 医治离子腔室电压,电位器可 转 10 圈 8 9 10 11 Residual background( 残 二位拣选开闭,检测真空体系 余本底) 残剩本底,平日打正在 Run(运 行)身分,假若要测氦本底, 则打至 check(检测)身分。 Coarse zero (粗调) Fil. Selector(灯丝拣选) 漏率显示粗调 二位开闭拣选灯丝 1 或灯丝 2 12 13 14 15 Fil. On–Off (灯丝开闭) 开闭离子源灯丝 EMIS (发射操纵) 通过调换灯丝电流来医治离子 源电子发射 医治检漏仪板警音响 校准电位器,使漏率读数和标 16 17 AUDIO(声调子节) CAL.(校准操纵) 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第4页 氦质谱检漏仪运用解释 准漏孔相同 18 Hi-Low SENSITITY (崎岖 二位开闭拣选崎岖灵活度 灵活度拣选) 高灵活度=10-9-10-6CC/SEC 低灵活度=10-8-10-5CC/SEC 19 可调磁铁 医治离子源电流,获得最大灵 敏度 四、开机操作措施(对分子泵检漏仪) 1) 将待检配置和检漏仪接口接好确保不漏; 2) 开前级呆板泵电源; 3) 掀开右边小门,合上主电源开闭,全数指示灯暂亮起,比及 “TRURBO READY”指示灯亮; 4) “HIVACK OK”指示灯亮后,将“FIL”开闭打到 ON,灯丝指示 灯亮,需要时众次反复这一措施直到灯丝指示安闲; 5) 按下 START 键; 6) 当测试口压力降到绿色指示段(100 millitorr)时,TEST 指示灯 亮,三分钟后,假若测试口真空度降到绿色指示段,HOLO 指示 灯亮, 压力降到 100milltor 以下后, HOLO 指示灯灭, (假若真空 度达不到央求,HOLD 指示将正在三分钟内发亮) ; 7) 检漏仪会主动上一步,直到测试口压力降到 100 毫以下; 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第5页 氦质谱检漏仪运用解释 8) 被检体系喷氧检漏; 五、闭机措施 1) 按下 VENT 键; 2) 闭掉检漏仪主电源; 3) 闭呆板泵主电源; 以上操作使分子泵隔断大气,质谱管仍旧真空形态 六、检漏仪调零和校准 正在检漏之前,检漏议质谱应调到对氦反响灵活,这须要用到尺度 漏孔。有两种地势的尺度漏孔,一种自带氦气,另一种凭据毛细道理 须要运用者自带氦源。 1. 灵活度 漏率显示条指示氦漏率从 2×10-10cc/sec 到 10×10-4cc/sec, 由赤色 发光二极管指示。对分子泵型检漏仪,灵活度开闭打到 HI 时,指示 漏率限度从 10-9cc/sec 到 10-6cc/sec,灵活度开闭打到 LO 时,指示漏 率限度从 10-8cc/sec 到 10-5cc/sec, 漏率限度的拣选取决于 SENTITIVITY 开闭档位的拣选(HI 或 LO) ,旋钮 RAMGE 确定漏率数目级。 漏率显示上下端分离有 OVER 和 UNDER 发光二极管,假若漏率 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第6页 氦质谱检漏仪运用解释 没有显示,下端 UNDER 发光二极管发亮,漏率指示应调治,使显示 栏部门发光(没有氦或漏孔存正在) ,假若上端 OVER 发光二极管亮, 则应拣选高数目级漏率。 2. 用自带氦气漏孔调治 尺度漏孔平日有两种效用:①质谱管调零;②检漏仪校准。这二 种效用往往同时运用。 用自带氦室尺度漏孔调零质谱管次第如下: 1) 按下 VENT 按钮,将 RESIDUAL BACK GROUND 开闭打至 RUN 身分,按平常开机措施掀开检漏仪; 2) 将尺度漏孔接上检漏仪测试口并拧紧; 3) 按下 START 按钮,能听到呆板泵短暂排气声; 4) 当测试口压力降压 100millitorr 时,TEST 灯亮,测试口和质谱管 仍旧线) 观测漏率指示,能够比尺度漏孔指示低,需要时调治 RANGE 开 闭获得最大读数,但不行使 OVER SCAL 指示灯亮; 6) 闭上尺度漏孔,漏率指示会降落; 7) 需要时调治 2ERO 微调旋钮,获得一个零点漏率读数(有时也可 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第7页 氦质谱检漏仪运用解释 用 COARSE ZERO 粗调) ; 8) 从头掀开尺度漏孔观测漏率读数,需要时调治 RANGE 旋钮,使 显示数值正在 1-9 之间; 9) 细微调治 FDCUS 和 ION 旋钮,使漏率显示为最大峰值; 10) 某一部门医治能够影响其它参数, 以是有必安反复第 6—9 步, 直 到漏率读数安闲; 11) 闭上尺度漏孔,记载零点读数。 3. 校准 1) 实行调零操作措施; 2) 要校准检漏仪,或更灵活地栓到更小的漏孔,需进一步医治漏率 指示。正在这种环境下,掀开尺度漏孔(供氦)医治 CAL 旋钮,直 到漏率读数和尺度漏孔相同; 3) 闭上尺度漏孔,从头记载零点数值; 4) 反复第一步和第二步; 5) 按下 VENT 按钮,拆下尺度漏孔。 七、离子源改换 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第8页 氦质谱检漏仪运用解释 改换离子源需拆开质谱管,换完之后要从头调治检漏仪。 图3 离子源及质谱管的拆装示企图 1) 按质谱管拆卸央求拆下质谱管,并拆下离子源; 2) 改换“O”圈,将新离子源定位销放正在导向孔中央; 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第9页 氦质谱检漏仪运用解释 3) 平行柠紧质谱管螺栓(1-8) ; 4) 将法兰帽(4、9、13)上的 4 个螺丝上紧、上平,接好质谱腔室; 5) 掀开栓漏仪,从头调治,校准检漏仪。 八、多赢彩票拆卸质谱管 1) 揭开检漏仪上端盖板; 2) 松开前级放大器和离子源; 3) 松开质谱管 KF 法兰卡子; 4) 轻轻摇动质谱管给线) 把质谱管放正在明净、无磁场的作事台上; 6) 松开离子源法兰帽(4)四个螺栓(3) ; 7) 胆大妄为把离子源(5)和法兰帽(4)隔离,记下“O”圈(6) 型号并改换之; 8) 从离子源腔室小心拆开出口狭缝板(7) ; 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第10页 氦质谱检漏仪运用解释 细心 以下措施必需提防记载离子源出口狭缝的身分,安设时必 须无误担保其原位。 9) 松开前级放大器(10)法兰帽(9)的四个螺栓(8) ; 10) 小心隔离前级放大器(10)和法兰帽(9) ,记载“O”圈(11) 型号并改换; 11) 把前级放大器(10)放正在明净布或无静电餐巾纸上; 12) 松开磁偏转安装(14)法兰帽(13)的四个螺栓(12) ,改换“O” 圈(15) ,放正在明净布或无静电餐巾纸上,远离磁场并预防跌落以 免调换其磁场特点; 13) 符号磁偏转安装接地卡子的身分,轻轻移开,预防弄弯它; 14) 万万不要转移质谱管边上两块巩固型磁铁(16 和 17) ,如失慎使 该磁铁裂开或破损,则需从头改换和调治; 15) 松开方形 KF 法兰上的四个螺栓(1) ,轻轻拿下该法兰和“O”圈 (2) 。 九、洗刷质谱管 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第11页 氦质谱检漏仪运用解释 细心 用明净、无纤维屑的布擦拭新的“O”型密封圈,万万不要用 水或其它溶剂洗刷“O”圈,不然将使“O”圈的密封本事降落。 万万不要用裸手接触各真空配件。 万万不行用 Alconox 粉末洗刷剂洗刷铝配件, Alconox 粉末清 洗剂会对铝配件发作损害。 1) 运用柔性研磨料或水砂纸去除质谱管上较硬的重积物,出口狭缝 最好或许改换,不然也必需提防地研磨和干净; 2) 干净质谱管的各个内皮相,并用甲醇试剂重复冲洗; 3) 检验前置放大器,干净其开孔面,并用甲醇试剂重复冲洗; 4) 提防记下接地卡子的身分,干净磁偏转安装,用小的硬毛刷清掉 套桶上的重积物,用明净的软布蘸甲醇干净磁铁; 5) 将全数部件正在气氛中自然风干。 十、拼装质谱管 1) 安设新的出口狭缝板,担保板上的叉接锁紧安装确切对位,运用 “一”字螺丝刀医治狭缝宗旨与质谱管的侧壁呈 90°,将狭缝板 上的小孔与离子源上的导向孔小心对正(如图 3 之 Detail A) ; 2) 改换“O” 圈(6) ,并用明净布将“O”型圈(6)和密封面擦 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第12页 氦质谱检漏仪运用解释 拭明净,装到离子源(5)上,并将离子源装到质谱管的孔洞中: a) 将定位销插到导向孔的中央; b) 将 1-8 的八只螺栓匀称地上好,确保其与质谱管的侧壁平 行; c) 用 4 只螺丝将法兰(4)上紧; 3) 改换“O”圈(11) ,并洗刷“O”圈(11)和密封面,将前置放 大器(10)装到质谱管的孔洞中,用 4 只螺丝将法兰(9)上紧; 4) 改换“O”圈(15) ,并洗刷“O”圈(15)和密封面,将磁偏转 安装(14)装到质谱管的孔洞中,确保磁铁上的箭头宗旨与质谱 管的侧壁笔直,用 4 只螺丝将法兰(13)上紧; 5) 改换“O”圈(2) ,并洗刷“O”圈(2)和密封面,一手持质谱 管,用 4 只螺丝(1)将方形 KF 法兰上紧,确保线) 邻接质谱管与检漏仪的线) 将前置放大器和离子源的电器接线) 掀开检漏仪,举行巩固型磁铁的医治次第(十) ,医治氦峰,校准 检漏仪。 十、巩固型磁铁的改换医治次第: 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第13页 氦质谱检漏仪运用解释 当检漏仪对氦灵活度消重、或改换离子源后,巩固型磁铁应举行 医治。 1) 确保巩固型磁铁上箭头宗旨和质谱管所标宗旨相同; 2) 固定磁铁; 3) 开栓漏仪,起码预热 30 分钟; 4) 把检漏仪打到测试形态,接好尺度漏孔,掀开阀门,并调零; 5) 减弱一块磁铁细微调治,漏率显示对磁铁身分反响相当灵活,得 到漏率峰值信号后,因定磁铁; 6) 照以上措施调治另一块磁铁; 7) 盖好检漏仪上盖并校准。 十、洗刷分子泵 1) 计划一个明净的、 足够大的 (能够容纳所有分子泵, 如图 4) 容器; 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第14页 氦质谱检漏仪运用解释 图4 分子泵洗刷示企图 2) 将分子泵电源接头拆下来,然后拆卸邻接体系与分子泵的高线) 小心地将分子泵颠倒于容器中, 正在容器中添入适量氟里昂液体 (推 荐 Freon TF 或 Freon TMC) ,液面高度应正在不锈钢封套的边际以 下 15-20mm,万万不行将氟里昂加得过众,不然会损坏分子泵的 轴承; 4) 轻轻地上下摇动分子泵,以去除分子泵刀口和叶片皮相的污染物; 5) 将分子泵从容器中取出,倒掉容器中的氟里昂; 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第15页 氦质谱检漏仪运用解释 6) 反复措施 3-4,重复几次,每次均运用明净的氟里昂; 7) 将分子泵翻过来,放正在明净的皮相让其自然干燥; 8) 统统干燥后,将分子泵装回到体系上。 十一、电途部门医治实质 1) 医治发射电流; 2) 栓查离子源电压; 3) 热偶规 TC1 校准; 4) 漏率显示放大医治; 5) 残佘本底检测。 豪威真空光电股份有限公司文献 共16页 第16页

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