• 产品名称:300微米行程、中空式三维运动压电平台!
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  • 发布时间: 2019-11-24
产品详细

  P15 压电扫描台是急速、高精度的三轴扫描和纳米定位台,具有相当高的直线 mm,相当适于透射光行使,如近场扫描或共焦显微镜和掩模定位。P15 压电扫描台运动行程为300m/ 轴,它的内部采用有限元领会(FEA)优化的线切割挠曲搭钮组织。

  以上参数是采用 E00/E01 系列压电担任器测得。最大驱动电压可正在 -20V~150V;对付高牢靠的永恒利用,倡议驱动电压正在0~120V。

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